仪器技术参数 | 1. 高刚度测试平台
1.1. 环境与震动隔离系统:
1.1.1. 多层声衰减环境屏蔽柜隔离噪音与气流干扰，主动悬浮平台隔离环境震动干扰
1.1.2. 隔离系统提供六自由度平台
1.2. 环境屏蔽柜内提供主动温度控制系统，使屏蔽罩内部温度达到恒定状态
1.3. 系统配备不间断电源（UPS)
1.4. 高分辨率彩色四物镜光学显微镜系统自动切换: (5x, 10x, 20x ,40x)
2. 测试平台载荷范围
2.1. 载荷参数:
2.1.1. 纳米载荷范围: 10 μN – 500 mN
2.1.2. 微米载荷范围: 300 mN– 30 N
2.1.3. 热漂移： 0 . 004 nm/s 或更好
3. 纳米压痕
4. 微米压痕
5. 划痕与磨损模块：划痕与磨损可实现单次与多次往复摩擦磨损试验 |