分辨率：0.8nm；
电子着陆电压：20V - 30KV； 电子束束流：0.6 pA - 200 nA； 放大倍数：29´ - 1M´； 探测器：二次电子探测器（ETD、TLD）；背散射探测器（CBS）；低真空探测器（LVD，Helix）；红外CCD。 样品室和样品台： XY: 110 ´ 110 mm；Z: 0 - 65 mm； 旋转：n ´ 360o；倾斜：-15° / +75°； 样品最大尺寸：Ø 150 mm（需旋转）； Ø 300mm（不需旋转）； 样品最大高度：85mm； 样品最大重量：500g； X射线能谱仪 最新款牛津仪器X-MaxN 型X射线能谱仪是一款使用硅漂移探测器的EDS，集成新型的探测器芯片、电子元器件和新型的包装款式，使其能够发挥新一代硅漂移探测器的性能。 能谱仪技术指标： 分辨率：133eV； 可分别的最低序数元素：Be； 采集方式：点（point）、线（line）、面（mapping）； 点采样时间：>60s；
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